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 15 电子显微镜成分分析.ppt
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上传时间:2019-08-06 发布时间:2019-08-06 点击次数:0

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文档简介
第二章 电子显微镜 3 WDS与EDX的性能比较 4 电子显微镜对于样品制备的要求 各种元素的俄歇电子能量 作业 <6> 定量分析 WDS为有标样定量分析(绝对定量分析),分析得出的成分含量为真实含量,所以分析结果准确度高。 而EDX则主要为无标定量分析,最后的结果多采用归一化(相对定量分析)。 <7> 其他 WDS在检测时要求样品表面平整。EDS对样品表面没有特殊要求,适合于粗糙表面的分析。 EDS探头必须长期保持在低温状态,必须长期用液氮冷却。现在的最新技术有电制冷EDS 对金属和导电陶瓷等块状样品,只需尺寸允许,即可直接进行观察。
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