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 第7章 薄膜材料制备.ppt
第7章  薄膜材料制备.ppt
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上传时间:2019-08-06 发布时间:2019-08-06 点击次数:2

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文档简介
第七章 薄膜材料制备 及检测技术 薄膜材料及其器件的发展与其制备和检测技术的发展紧密相关。 薄膜制备技术正从传统的气相沉积技术的基础上,不断结合其他技术形成众多新的制备技术。 薄膜检测技术面临着越来越多的挑战。独特的新型薄膜结构和复杂的薄膜成分,对检测技术提出了更高的要求。 第一节 薄膜材料制备方法 薄膜生长方法是获得薄膜的关键。薄膜材料的质量和性能不仅依赖于薄膜材料的化学组成,而且与薄膜材料的制备技术具有一定的关系。 随着科学技术的发展和各学科之间的相互交叉, 相继出现了一些新的薄膜制备技术。这些薄膜制备方法的出现, 不仅使薄膜的质量在很大程度上得以改善, 而且为发展一些新型的薄膜材